磁控溅射镀膜机(XJD2026032500006)采购公告
- 2026-03-25
项目名称: 磁控溅射镀膜机(XJD2026032500006)采购公告
项目编号: XJD2026032500006
招标公司: 西安交通大学
采购标的物: 磁控溅射镀膜机
项目地区：陕西 西安
项目名称 磁控溅射镀膜机 项目编号 XJD2026032500006
公告开始日期 2026-03-25 15:19:27 公告截止日期 2026-03-29 12:00:00
采购单位 西安交通大学 付款方式 货到安装、调试、验收合格后，付全款。
签约时间要求 发布竞价结果后7天内签订合同 到货时间要求 合同签订后90天内送达
预算总价 ***** 币种 人民币
收货地址 陕西省西安市长安区****
现场踏勘
供应商资质要求 无
采购清单 1
采购商品 采购数量 计量单位 附件
磁控溅射镀膜机 1.00 台 无
品牌 无
型号 无
预算单价 *****
规格参数 1. 腔室尺寸：采用304不锈钢加工，水冷；2. 极限真空度：≤5.0*10-5 Pa;3. 系统漏率：5*10-7 Pa.1/s;4. 静态升压：系统停泵关机后12小时后，真空度≤5Pa；5. 系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气至9*10-4 Pa≤25min。6. 磁控靶配置：带倾斜角度调节，Φ4英寸磁控靶3支；靶基距可调：80mm-120mm，角度调节精度：1°7. 支持样品尺寸与数量：Φ8英寸，1片；兼容6英寸，4英寸样品。8. 工件盘转速0~20rpm可调；9. 溅射不均匀性：≤±4%（Φ8英寸范围内，平面样品）10. 样品加热：≥600℃；控温精度：1℃；11. 工艺气体：Ar、N2。12. 电源功率：直流：1500W；偏压-300V ;13包含自动压力控制系统 ;14. 控制方式：基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式，包含安全报警系统。
售后服务 1.现场安装：供应商应负责设备的现场安装与调试。在设备到达用户指定地点后，供应商需在 3-5个工作日 内派遣专业工程师到场。2. 工艺验收：安装调试完成后，需以用户指定的标准样片（或双方约定的标准样品）进行镀膜测试。验收标准需明确：膜层均匀性（如≤±5%）、沉积速率、靶材起辉稳定性、真空度（极限真空及抽速）等关键指标，并出具《设备验收报告》。3. 人员培训：供应商应为用户提供全面的操作培训，人数建议为 3-5人，培训地点可现场进行4. 保修期限：设备整机保修期自最终验收合格之日起计算12个月。关键部件如分子泵、直流电源延长至24个月。5. 远程支持：保修期后，供应商应提供终身免费的远程技术支持（电话、微信、TeamViewer等远程软件）。
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